目前電容式傳感器測量電路常用的有橋式電路、諧振電路、調頻電路、運算放大電路、差分脈寬調制電路等。

　1.橋式電路

　2.諧振電路

　電容傳感器的電容Cx充當諧振回路（L2、C2、Cx）的調諧電容的一部分。諧振回路通過電感耦合從穩定的高頻振蕩器獲得振蕩電壓。當傳感器的電容發生變化時，諧振電路的阻抗也隨之發生變化，轉化為電壓或電流，經放大檢測后即可得到相應的輸出。

　3.調頻電路

　4.運算放大器電路

　uy=-u0?(C0/Cx)=-u0(C0δ/ε0εrA)

　輸出電壓與間隙成線性關系。

　5.脈寬調制電路

　U0=U1?(Δδ/δ0)

　直流輸出電壓與輸入呈線性關系（間隙變化）。